利用溶膠旋轉塗佈法製備高介電常數鈦酸鎳閘極介電層於複晶矽薄膜電晶體之特性分析
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- 資料識別：
- A11009079
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳仕傑 侯拓宏 鄧志剛 莊琇惠 趙天生 雷添福
- 主題與關鍵字：
- 複晶矽薄膜電晶體 高介電常數閘極介電層 鈦酸鎳 氮化鉭 Poly-Si TFTs High-κ gate dielectric NiTiO₃ TaN
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:16:12=185 2010.12[民99.12]
- 頁次:頁120-126
- 日期：
- 20101200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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