450mm晶圓的超聲化學機械平坦化(上)
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- 資料識別：
- A11044916
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 宋健民(Sung， James C.)
- 主題與關鍵字：
- 半導體 集成電路 化學機械平坦化 鑽石碟 450mm晶圓 22nm製程 Semiconductor Interconnects Chemical mechanical planarization CMP Diamond disk 450mm wafer 22nm node
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:299 2011.11[民100.11]
- 頁次:頁165-172
- 日期：
- 20111100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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