新型電化學銅合金化薄膜導線之自我強化及自我對位圖案化分析
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- 資料識別：
- A11009638
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 呂育霖(Lu， Y. L.) 陳松德(Chen， S. T.) 黃朝鴻(Huang， C. H.) 劉唐豪(Liu， T. H.) 陳錦山(Chen， G. S.)
- 主題與關鍵字：
- 真空電漿表面改質 無電鍍 Cu-Mn合金薄膜 自我對位 Vacuum plasma surface pre-treatment Electroless plating Cu-Mn alloy thin film Self-alignment
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:23:4 2010.12[民99.12]
- 頁次:頁19-24
- 日期：
- 20101200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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