全訊息三維電子斷層掃描顯像技術在奈米元件之應用
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- 資料識別：
- A10005512
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 羅聖全(Lo， S. C.) 賴明偉(Lai， M. W.) 李世莉(Lee， S. R.) 陳淑貞(Chen， S. J.) 林麗娟(Lin， L. J.)
- 主題與關鍵字：
- 訊息遺漏 承載臺 棒狀 複合載臺 Missing wedge Retainer Rod shape Complex holder
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:277 2010.01[民99.01]
- 頁次:頁70-79
- 日期：
- 20100100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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