High-speed Serial-kinematic SPM Scanner: Design and Drive Considerations
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- 資料識別：
- A10005015
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Leang， Kam K. Fleming ， Andrew J.
- 主題與關鍵字：
- High-speed nanopositioning Piezoactuator Scanning probe microscope
- 描述：
- 來源期刊:Asian Journal of Control
- 卷期:11:2 2009.03[民98.03]
- 頁次:頁144-153
- 日期：
- 20090300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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