溶膠-凝膠法製備SONOS類型記憶體元件
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- 資料識別：
- A10031602
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張翔竣 游信強
- 主題與關鍵字：
- 溶膠-凝膠 SONOS類型記憶體 二氧化鉿 矽酸鉿氧化物 Sol–Gel SONOS-type memory HfO₂ Hafnium silicate
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:17:2 2010.06[民99.06]
- 頁次:頁2-8
- 日期：
- 20100600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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