PEALD系統研製
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- 資料識別：
- A10020665
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蕭健男(Hsiao， C. N.) 柯志忠(Kei， C. C.) 劉伯亨(Liu， B. H.) 游智傑(Yu， C. C.) 李昭德(Lee， C. T.) 劉達人(Liu， D. R.) 陳峰志(Chen， F. Z.)
- 主題與關鍵字：
- 平板電極與感應耦合式電漿輔助原子層沉積系統 PEALD系統 腔體壓力 觸媒白金顆粒
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:22:4 2009.12[民98.12]
- 頁次:頁39-44
- 日期：
- 20091200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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