Characterization of a High Output Gridless Ion Source
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- 資料識別：
- A10020466
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Gardner， Darren Sainty， Wayne
- 主題與關鍵字：
- Ion beam assisted deposition Gridless ion source Power supplies Ion current density and ion energy
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:20:2-4 2008.02[民97.02]
- 頁次:頁62-73
- 日期：
- 20080200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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