Development of a Novel Multi-axis Nano-positioning and the Spiral Tracking Control
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- 資料識別：
- A10010631
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 覺文郁(Jywe， Wen-yuh) 沈金鐘(Shen， Jing-chung) 鄭友仁(Jeng， Yeau-ren) 劉建宏(Liu， Chien-hung) 鄧雲峰(Teng， Yun-feng) 簡裕特(Jian， Yu-te) 王鴻澍(Wang， Hung-shu)
- 主題與關鍵字：
- Piezoelectric Hystersis Capacitance sensor Sliding-mode control Precision stage 多軸奈米定位平臺 微定位平臺 循圓軌跡
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:30:4 2009.08[民98.08]
- 頁次:頁343-350
- 日期：
- 20090800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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