MEMS封裝技術之發展現況與CMOS MEMS封裝之未來展望
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- 資料識別：
- A09065038
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 施建富
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 微機電封裝 CMOS MEMS封裝 MEMS
- 描述：
- 來源期刊:微系統暨奈米科技協會會刊
- 卷期:21 2009.05[民98.05]
- 頁次:頁51-59
- 日期：
- 20090500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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