不同界面層之N型高介電質常數電晶體之界面特性比較

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資料識別:
A09063779
資料類型:
期刊論文
著作者:
陳啟文(Chen, Chii-wen) 賴信誠(Lai, Hsin-cheng) 陳穎達(Chen, Ying-da) 黃厚智(Huang, Hou-jhih) 葉文冠(Yeh, Wen-kuan) 陳育廷(Chen, Yu-ting)
主題與關鍵字:
閘極漏穿遂電流 高介電質常數材料 界面層 Direct-tunneling High-k dielectric Interface layer
描述:
來源期刊:明新學報
卷期:35:2 2009.08[民98.08]
頁次:頁11-17
日期:
20090800
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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