光固化型奈米壓印微影之石英母模製備及表面處理

推薦分享

Share

資源連結

連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)

後設資料

資料識別:
A09006082
資料類型:
期刊論文
著作者:
李冠霖(Lee, Guan-lin) 李英群(Lee, Ying-chun) 謝志誠(Shieh, Jyh-cherng)
主題與關鍵字:
光固化型奈米壓印微影 石英 脫模層 電子束微影 反應性離子蝕刻 Photo-curing nanoimprint lithography technology Quartz template Release layer Electron-beam lithography Reactive ion etch
描述:
來源期刊:農業機械學刊
卷期:16:2 2007.06[民96.06]
頁次:頁13-24
日期:
20070600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

引用這筆典藏 引用說明

引用資訊
直接連結

評分與驗證

請為這筆數位資源評分

star star star star star

推薦藏品

十七個灰樹花菌株遺傳多樣性的ISSR...
洛神賦圖:一個傳統的形塑與發展
佛國淨土與中國神話:莫高窟285窟的...
物種生態誌(2)
臺灣地區麻雀糞便內寄生蟲種類之分析
年輕成人的肝膿瘍:愛滋病毒感染的線索...