高介電薄膜特性研究--沈積二氧化鉿薄膜的退火分析使用XRR及GIXRD
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- 資料識別：
- A09059486
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張詠晴 陳怡菁 傅尉恩
- 主題與關鍵字：
- 高介電薄膜 二氧化鉿薄膜 X射線反射儀 低掠角X射線繞射儀 XRR GIXRD
- 描述：
- 來源期刊:量測資訊
- 卷期:128 2009.07[民98.07]
- 頁次:頁59-63
- 日期：
- 20090700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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