由酸式及模板法製中孔洞型二氧化矽低介電薄膜材料
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- 資料識別：
- A09033188
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 呂信諺 萬本儒
- 主題與關鍵字：
- 中孔洞型二氧化矽薄膜 低介電常數 孔隙度 界面活性劑 機械強度 Mesoporous silica films Low-K value Dielectric constant Porosity surfactant Mechanical strength
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:16:1 2009.03[民98.03]
- 頁次:頁39-45
- 日期：
- 20090300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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