X光繞射分析在半導體工業上的應用
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- 資料識別：
- A09020719
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鄧建龍 姚潔宜 張茂男
- 主題與關鍵字：
- 掠角X光繞射 回擺曲線 X光反射率 倒置空間圖 Grazing incident X-ray diffraction GIXRD Rocking curve X-ray reflectometry XRR Reciprocal space mapping RSM
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:15:4 2008.12[民97.12]
- 頁次:頁6-9
- 日期：
- 20081200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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