Growth of Ternary WC[9058]N□ Thin Films from a Single-source Precursor, W(N□Bu)₂ (NEt₂)₂

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後設資料

資料識別:
A07018733
資料類型:
期刊論文
著作者:
莊琇惠(Chuang, Shiow-huey) 裘性天(Chiu, Hsin-tien) 周宜萱(Chou, Yi-hsuan) 陳秀帆(Chen, Shiou-fan)
主題與關鍵字:
Tungsten nitride Tungsten carbonitride Chemical vapor deposition
描述:
來源期刊:Journal of the Chinese Chemical Society
卷期:53:6 民95.12
頁次:頁1391-1395
日期:
20061200
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

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管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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