Reoxidation Thickness Nonuniformities Due to Thermally Induced Stress Effect and the Atomic Oxygen Distribution in RTP with N₂O
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- 資料識別：
- A06083279
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Chang， Kow-ming Lai， Chiung-hui Lin， Bo-chun Hsieh， Kuang-yeu Yao， June-min Chang， Sang-hua Lai， Hui-lung Lai， Yi-lung
- 主題與關鍵字：
- Oxynitride Atomic oxygen Thermally induced stress Exothermic
- 描述：
- 來源期刊:International Journal of Electrical Engineering
- 卷期:13:2 民95.05
- 頁次:頁161-167
- 日期：
- 20060500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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