乾膜光阻生產製程中塗佈作業之ANN-SPC-EPC製程管制系統建立
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- 資料識別：
- A06082498
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林宏達(Lin， Hong-dar) 周奕圻(Jou， Yi-chi)
- 主題與關鍵字：
- 乾膜光阻製程 塗佈作業 電腦視覺系統 薄膜量測 共軛梯度倒傳遞類神經網路CG BP 統計與工程製程管制SPC-EPC Dry film photoresist process Coating operation Computer vision system Film measurement Artificial neural network model Statistical and engineering process control SPC-EPC
- 描述：
- 來源期刊:朝陽學報
- 卷期:11 民95.09
- 頁次:頁25-58
- 日期：
- 20060900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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