電漿量測技術介紹

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資料識別:
A06043681
資料類型:
期刊論文
著作者:
張家豪(Chang, C. H.) 柳克強(Liu, K. C.)
主題與關鍵字:
電漿量測 蘭牟爾探針 射頻補償 微波干涉儀 Plasma diagnostic Langmuir probe RF compensation Microwave interferometer
描述:
來源期刊:工業材料
卷期:232 民95.04
頁次:頁107-111
日期:
20060400
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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