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High-Density Optical Disk Mastering Using Electron Beam Lithography with Modified LIGA Demolding Mechanism
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資料識別:
A06034863
資料類型:
期刊論文
著作者:
沈聖智(Shen, Sheng-chih) 鄭博仁(Cheng, Po-jen) 羅士哲(Lo, Shih-che) 潘正堂(Pan, Cheng-tang) 黃永茂(Hwang, Yeong-maw) 陳明發(Chen, Ming-fa)
主題與關鍵字:
Mastering High-density electron beam Lithography Ni-Co 電子束 脫模技術 LIGA製程 光碟片 奈米螺旋溝槽
描述:
來源期刊:中國機械工程學刊
卷期:27:1 民95.02
頁次:頁31-36
日期:
20060200
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館
授權聯絡窗口
管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305
引用這筆典藏
引用資訊
沈聖智(Shen, Sheng-chih) 鄭博仁(Cheng, Po-jen) 羅士哲(Lo, Shih-che) 潘正堂(Pan, Cheng-tang) 黃永茂(Hwang, Yeong-maw) 陳明發(Chen, Ming-fa)(20060200)。[High-Density Optical Disk Mastering Using Electron Beam Lithography with Modified LIGA Demolding Mechanism]。《數位典藏與數位學習聯合目錄》。http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/4c/71/d3.html(2017/03/24瀏覽)。
直接連結
http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/4c/71/d3.html
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