探討腔室壓力對於高介電常數樣料(Ba[90b0]，Sr[90b1])(Ti0.9，Zr0.1)O[feb0]薄膜特性影響之研究
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A06020238
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 高國陞
- 主題與關鍵字：
- 射頻磁控濺鍍 鈦酸鍶鋇鋯 介電常數值 漏電流
- 描述：
- 來源期刊:東方學報
- 卷期:25 民94.10
- 頁次:頁86-95
- 日期：
- 20051000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
