Influence of Membranes of RF Microelectromechanical System Switches
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- 資料識別：
- A06101272
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 賴永齡(Lai， Yeong-lin) 陳岳宏(Chen， Yueh-hung)
- 主題與關鍵字：
- Finite element Mechanical Membrane Microelectromechanical system MEMS Radio-frequency RF Switch 射頻微機電開關 薄膜孔洞 有限元素法
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:27:2 民95.04
- 頁次:頁255-260
- 日期：
- 20060400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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