65奈米光罩製作
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- 資料識別：
- A05004328
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 施錫龍 蔡來福 文翔昇 戴寶通 丁永強 許丕明 李明峻
- 主題與關鍵字：
- 深次奈米世代 雷射曝光 電子束曝光 匹配曝光方式 Deep sub-nanometer generation Laser writing Electron beam writing Mix-and-Match writing
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:12:1 民94.02
- 頁次:頁33-37
- 日期：
- 20050200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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