以電子顯微鏡為基礎之電子束曝光機的改裝與應用
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- 資料識別：
- A05024382
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳啟東(Chen， Chii-dong) 吳憲昌(Wu， Cen-shawn)
- 主題與關鍵字：
- 電子顯微鏡 電子束曝光機 曝光 成像 奈米結構
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:26:6=146 民94.06
- 頁次:頁63-72
- 日期：
- 20050600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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