以射頻磁控濺鍍法在PET基材上沈積氧化鋁薄膜之製備與分析
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- 資料識別：
- A04028239
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳芝緯(Wu， Chih-wei) 張立信(Chang， Li-shin) 薛富盛(Shieu， Fu-sheng) 武東星(Wuu， Dong-sing)
- 主題與關鍵字：
- 射頻磁控濺鍍 氧化鋁薄膜 塑膠基板 氣體阻隔層 Aluminum oxide thin films Plastic substrate Gas barrier R.F. magnetron sputtering
- 描述：
- 來源期刊:興大工程學刊
- 卷期:15:2 民93.07
- 頁次:頁109-118
- 日期：
- 20040700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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