氫氟酸在先進浸泡式清洗設備的感用
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- 資料識別：
- A04020155
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Lee，Nam-pyo Nelson，Steve
- 主題與關鍵字：
- 稀釋氫氟酸水溶液 半導體製程 晶圓表面清洗調劑 DHF Diluted HF
- 描述：
- 來源期刊:新電子科技
- 卷期:217 民93.04
- 頁次:頁142-146
- 日期：
- 20040400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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