五氧化二鉭光學薄膜微觀結構與沉積能量之關係
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- 資料識別：
- A04016901
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃承揚(Huang， Chen-yang) 朱正煒(Chu， Cheng-wei)
- 主題與關鍵字：
- 微觀結構 電子槍蒸鍍 離子輔助系統 反應磁控濺鍍 離子束濺鍍 Microstructure Evaporation Ion assisted deposition Magnetron reactive sputtering Ion beam sputtering
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:16:4 民93.04
- 頁次:頁28-35
- 日期：
- 20040400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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