Cat-CVD技術的開發狀況和應用展開
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- 資料識別：
- A03026652
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 和泉亮 松村英樹
- 主題與關鍵字：
- 觸媒CVD法 薄膜沉積技術 半導體製程 Cat-CVD
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:9:7=96 民92.07
- 頁次:頁195-200
- 貢獻者：
- 劉台徽
- 日期：
- 20030700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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