On the Design of an Innovative Latch Mechanism in Smifed Wafer Containers

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資料識別:
A03023904
資料類型:
期刊論文
著作者:
Pai,Wei-ming Chen,Dar-zen Lee,Jyh-jone Ho,Chi-zer
主題與關鍵字:
SMIF Wafer container Latch mechanism
描述:
來源期刊:The Chinese Journal of Mechanics
卷期:19:3 民92.09
頁次:頁389-395
日期:
20030900
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

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管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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