Tailoring the Material and Electronic Properties of Ultra-thin ZrO[feaf]Films for Microelectronics Application

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後設資料

資料識別:
A02003500
資料類型:
期刊論文
著作者:
Chang,Jane P.
主題與關鍵字:
Atomic layer deposition Thin film Microelectronics
描述:
來源期刊:Journal of the Chinese Institute of Chemical Engineers
卷期:33:1 民91.01
頁次:頁95-102
日期:
20020100
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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