微波電漿源設計技術介紹
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A02021284
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉有台 吳正明
- 主題與關鍵字：
- 微波電漿 導波管 電子迴轉共振 Microwave plasma Waveguide Electron cyclotron resonance ECR
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:187 民91.07
- 頁次:頁173-180
- 日期：
- 20020700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
