低溫奈米碳管製程研究

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資料識別:
A08084340
資料類型:
期刊論文
著作者:
李文德(Lee, Win-der) 王錫九(Wang, Shea-jue) 龍啟忠 王鈺騏 張哲銘 李宗益
主題與關鍵字:
奈米碳管 濺鍍系統 微波電漿輔助化學氣相沉積 Carbon nanotube CNT Sputter MW-PECVD Microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition
描述:
來源期刊:黎明學報
卷期:19:1 2007.04[民96.04]
頁次:頁207-212
日期:
20070400
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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