紅色與黑色負型光阻液之回收與再生技術
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- 資料識別：
- A08060742
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鄭承熙(Cheng， C. H.) 楊炎勝(Yang， Y. S.) 沈克鵬(Shen， K. P.)
- 主題與關鍵字：
- 回收 再生 旋轉塗佈 紅色負型光阻 黑色負型光阻 Reclamation Regenerative Spin coating Negative red photoresist Negative black photoresist
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:260 2008.08[民97.08]
- 頁次:頁113-119
- 日期：
- 20080800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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