十二吋晶圓廠無塵室煙控性能式設計之研究
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- 資料識別：
- A08053526
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 邱晨瑋(Chiu， Chen-wei)
- 主題與關鍵字：
- 煙控系統 性能式設計 無塵室 Smoke management Performance-based design Cleanroom
- 描述：
- 來源期刊:警專學報
- 卷期:4:3 2008.04[民97.04]
- 頁次:頁1-33
- 日期：
- 20080400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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