光碟片塗佈計量控制探討
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- 資料識別：
- A08059551
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 許嘉龍(Hsu， J. L.) 林祐源(Lin， Y. Y.) 蔣東堯(Jiang， D. Y.) 張永鵬(Chang， Y. P.) 康淵(Kang， Y.)
- 主題與關鍵字：
- 旋轉塗佈 塗佈量 計量控制 隔膜閥 Spin coating Coating flow Spray flow control Diaphragm valve
- 描述：
- 來源期刊:先進工程學刊
- 卷期:3:3 2008.07[民97.07]
- 頁次:頁257-260
- 日期：
- 20080700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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